반도체 Photolithography공정 │ EUV에 대해 알려드림! | 등록일 : 2020-11-24 | 조회 : 3910 |
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최근 반도체 공정에서 HOT한 공정인 EUV!
前 삼성전자DS & SK하이닉스 출신 엔지니어 반도체 마스터 정건화 선생님이 EUV설비와 작동 방식에 대해 알려드립니다. |